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沈陽芯源微電子設備股份有限公司成立于2002年,是由中科院沈陽自動化研究所發起創建的國家高新技術企業,專業從事半導體生產設備的研發、生產、銷售與服務,致力于為客戶提供半導體裝備與工藝整體解決方案。

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