透射電子顯微鏡(TEM)于1932年左右發(fā)明,是一種以波長(zhǎng)極短的電子束作為電子光源,利用電子槍發(fā)出的高速的、聚集的電子束照射至非常薄的樣品,收集透射電子流經(jīng)電磁透鏡多級(jí)放大后成像的高分辨率、高放大倍數(shù)的電子光學(xué)儀器。
透射電鏡具有分辨率高、可與能譜儀等其他技術(shù)聯(lián)用的優(yōu)點(diǎn),在物理、化學(xué)、生物學(xué)和材料學(xué)等多個(gè)領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。近年來(lái),隨著半導(dǎo)體行業(yè)飛速發(fā)展,相關(guān)產(chǎn)品關(guān)鍵結(jié)構(gòu)尺寸的進(jìn)一步微納米化,透射電鏡逐漸開始作為半導(dǎo)體失效分析的有力工具。

4nm制程芯片TEM成像圖
為了讓用戶對(duì)透射電鏡相關(guān)內(nèi)容有進(jìn)一步的了解,此次公開課特意邀請(qǐng)英國(guó)曼徹斯特大學(xué)材料學(xué)博士、廣電計(jì)量半導(dǎo)體技術(shù)副經(jīng)理劉辰開展主題為《透射電鏡原理介紹及其在半導(dǎo)體失效分析中的應(yīng)用》線上公開課。屆時(shí),報(bào)名用戶不僅能免費(fèi)參與課程,聽課期間還有超強(qiáng)的技術(shù)專家團(tuán)隊(duì)為大家進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)答疑。

活動(dòng)介紹
【主題】透射電鏡原理介紹及其在半導(dǎo)體失效分析中的應(yīng)用
【時(shí)間】時(shí)間3月30日上午9:30-11:00
【講師】劉辰
●英國(guó)曼徹斯特大學(xué)材料學(xué)博士
● 廣電計(jì)量MA技術(shù)線負(fù)責(zé)人
● 近十年材料分析和電鏡實(shí)操經(jīng)驗(yàn)
此次公開課不僅作為一場(chǎng)公益課程,更對(duì)于報(bào)名并成功聽課的客戶提供限時(shí)優(yōu)惠檢測(cè)服務(wù)方案。
● 優(yōu)惠期間,可享受優(yōu)先檢測(cè)服務(wù)
● 優(yōu)惠期間,可享受AEC-Q培訓(xùn)課程八折優(yōu)惠
【優(yōu)惠期:2023.3.30-2023.4.30】
常見(jiàn)問(wèn)題
Q:如何確定已報(bào)名成功?
A:掃碼報(bào)名后界面會(huì)提示“報(bào)名成功”。其次,如您已經(jīng)關(guān)注廣電計(jì)量公眾號(hào),將會(huì)推送報(bào)名成功信息。
Q:公開課開始前是否有信息提示?
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