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不只一臺刻蝕機 燕東微北京8英寸項目搬入多臺北方華創(chuàng)設備

mvj0_SEMI2025 ? 來源:yxw ? 2019-07-05 14:27 ? 次閱讀

近日,燕東微北京8英寸項目首批設備搬入,而北方華創(chuàng)制造的刻蝕機作為首臺設備搬入廠房。

據北方華創(chuàng)官方最新消息,除首臺搬入的等離子硅刻蝕機外,北方華創(chuàng)即將搬入的設備,還包含多晶硅刻蝕機、金屬刻蝕機、深硅刻蝕機、磁控濺射PVD、高溫擴散爐、中溫氧化爐、濕法清洗機、濕法去膠機等設備。

據悉,燕東微電子8英寸集成電路研發(fā)產業(yè)化及封測平臺項目是北京首條大規(guī)模量產8英寸的集成電路產線,總投資48億元,于2016年9月27日正式啟動。其芯片生產廠房包含一條月產5萬片(25次光刻)0.25um-0.09um(典型工藝為0.11um)、BCD兼容工藝的8英寸芯片生產線。未來擬生產產品包括顯示驅動電路、功率器件、封測產品等。同時,項目通過與國際頂尖驅動電路、功率器件廠商合作,將建成國內技術最先進的特色工藝產線。

為推進該項目的建設,燕東微電子還于2018年1月發(fā)布增資項目,2018年6月正式敲定增資方案,大基金聯(lián)合三家國企斥資28億實施入股,電子城等還通過非公開渠道再投資12億元。

燕東微電子隸屬北京電子控股有限責任公司旗下,后者由北京市電子工業(yè)辦公室轉制而來,目前是北京市國資委授權的以電子信息產業(yè)為主業(yè)的國有特大型高科技產業(yè)集團。

公開信息顯示,燕東微電子成立于1987年,是一家專業(yè)化的半導體器件芯片設計、制造、銷售的全資國有高科技企業(yè)。目前,燕東微電子的客戶涵蓋了包括蘋果、華為、小米等用戶在內的客戶群體。

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