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掃描探針顯微鏡(Scanning Probe Microscope, SPM)經(jīng)過二十多年的發(fā)展,已進(jìn)入成熟期；應(yīng)用最新的計(jì)算機(jī)軟硬件技術(shù)實(shí)現(xiàn)SPM控制的優(yōu)化及性價(jià)比的提高是該領(lǐng)域目前的研究熱點(diǎn)之一。本文主要介紹DSP和CPLD在SPM控制系統(tǒng)的應(yīng)用，并詳細(xì)論述了具體的設(shè)計(jì)方案及軟硬件的實(shí)現(xiàn)。通過采用將先進(jìn)的DSP與小規(guī)模的CPLD相結(jié)合的方案，研制了一套新穎的SPM控制系統(tǒng)。測(cè)試表明該系統(tǒng)具有性能穩(wěn)定、功能可擴(kuò)展等顯著特點(diǎn)。
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