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電子發燒友網>電子資料下載>電子元器件應用>MEMS慣性傳感器簡介

MEMS慣性傳感器簡介

2010-07-08 | rar | 64 | 次下載 | 5積分

資料介紹

MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems)是指集機械元素、微型傳感器以及信號處理和控制電路接口電路、通信電源于一體的完整微型機電系統。微型機電系統可以在諸如硅、石英等不同的基體材料之上加工而成,以硅為基體材料的微機電系統稱之為硅微機電系統,而以硅為基體材料實現的慣性傳感器件即為硅微慣性傳感器。
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