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隨著波導材料的研究和進展,采用新的波導材料設計出了一種波導式壓力傳感器,就光波導壓力傳感器的原理和特性作了一個簡要闡述,對它的工藝流程作了詳細的描述。
關鍵詞:光波導壓力傳感器; 硅微機械法; 結構; 原理; 特性
Abstract :With the development and research of wave guide material ,the new wave guide materials were adopted to design a new optical wave guide pressure sensor. The structure ,character and principle of the optical wave guide pressure sensor were expounded here. The fabrication process was discussed.
Key words :optical wave guide pressure sensor ; silicon micro machined ; structure ; principle ; character
關鍵詞:光波導壓力傳感器; 硅微機械法; 結構; 原理; 特性
Abstract :With the development and research of wave guide material ,the new wave guide materials were adopted to design a new optical wave guide pressure sensor. The structure ,character and principle of the optical wave guide pressure sensor were expounded here. The fabrication process was discussed.
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