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電子發燒友網>電子資料下載>電子論文>傳感器技術論文>Si基膜片型氣敏傳感器微結構單元的熱學性能

Si基膜片型氣敏傳感器微結構單元的熱學性能

2009-07-13 | rar | 300 | 次下載 | 3積分

資料介紹

微結構氣敏傳感器由于其微型化、低功耗、易陣列化和易批量生產等優點而受到國內外研究者的廣泛關注。利用微機電系統(MEMS) 加工技術,制備Si 基膜片型微結構單元,并分析其熱學性能。這種單元工作區溫度為~300 ℃時,加熱功率約75mW;并且膜片工作區的熱質量很小,溫度可以于毫秒量級的時間內,在室溫和450 ℃之間調制。利用這種微結構單元,可以在溫度調制方式下,研究氣敏薄膜的電學特性和敏感機理。
關 鍵 詞:Si 基膜片型微結構單元;微機電系統;熱學性能
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