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基于VI的恒溫區(qū)段測(cè)量系統(tǒng)設(shè)計(jì)

2009-09-16 | rar | 517 | 次下載 | 3積分

資料介紹

半導(dǎo)體器件的生產(chǎn)過程中需要定期測(cè)量擴(kuò)散爐、合金爐的恒溫區(qū)段,針對(duì)人工測(cè)量
效率低,精度差等問題,設(shè)計(jì)了基于LabVIEW 虛擬儀器的恒溫區(qū)自動(dòng)測(cè)量系統(tǒng),闡述系統(tǒng)的組成和測(cè)量原理。
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