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該文提出了一種閉環(huán)自激式驅(qū)動(dòng)的微型電場(chǎng)傳感器方案。利用自動(dòng)增益控制的原理實(shí)現(xiàn)閉環(huán)自激驅(qū)動(dòng)，使得微傳感器能夠始終工作在諧振狀態(tài)，且振動(dòng)幅度保持穩(wěn)定。用matlab-simulink 工具對(duì)系統(tǒng)進(jìn)行了仿真，結(jié)果表明，當(dāng)傳感器的諧振頻率發(fā)生0.5%的漂移時(shí)，系統(tǒng)可以重新捕捉并鎖定到新的諧振頻率，和開環(huán)驅(qū)動(dòng)方案相比，傳感器振幅的衰減度從30%降低到0.1%之內(nèi)，靈敏度從縮減50%改進(jìn)到縮減0.1%之內(nèi)。
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